飞秒激光微纳加工系统培训及试运行通知
17 3 月 2025
可持续大气环境中央实验室的飞秒激光微纳加工系统已经安装调试完毕，专业工程师将于2025年4月16日进行操作培训。欢迎感兴趣的师生联系实验室管理员（农任秋、冯永明、张婷）预约，并按时参加培训和学习。
一、仪器名称
飞秒激光微纳加工系统
二、品牌、型号及原产地
WOP、FemtoLAB、立陶宛
三、仪器简介
FemtoLAB是一体化的飞秒激光微加工研发平台。该系统提供亚微米分辨率的微加工工艺，兼容多种材料，如玻璃、金属、塑料等，并能进行表面和内部体修改及纳米结构制造。其多功能应用包括飞秒激光烧蚀、激光开槽划线、多光子聚合和激光切割等。系统具备高精度定位和扫描功能，同时支持多种文件格式导入，提供一体化软件控制和被动隔振设计。
四、关键应用
- 表面和内部体修改和纳米结构制造
- 飞秒激光烧蚀 (FSLA)
- 激光开槽划线
- 多光子聚合（MPP）；直接激光写入 (DLW)
- 激光切割和钻孔
- 独特的是，该系统不仅兼容平面样品，还支持光纤加工
五、技术规格
| Item | 特征 |
| 推荐材料 | 所有材料：玻璃、蓝宝石、硅、陶瓷、金属、塑料、光纤等。 |
| 激光源 | 高功率超短脉冲红外、绿光、紫外激光器可选 |
| 光路选择 | 自动化切换光路 |
| 样品尺寸 | 兼容最大 160 mm x 160 mm 位移台设计 |
| 最小特征尺寸 | 200nm |
| 定位系统 | XYZ 三轴定位系统，定位精度 ± 300nm，具有连续晶圆级图案化功能 |
| 扫描系统 | 适用于所有激光波长的振镜系统 |
| 视觉 | 具有特征识别功能的实时可视化和定位摄像头 |
| 计量学 | 集成显微镜 |
| 样品处理 | 手动与自动对齐 |
| 排烟除尘系统 | 包括 |