飞秒激光微纳加工系统

主要规格&技术指标

1、中心波长： 1030nm±10nm；

2、脉冲宽度：290fs~10ps 可调；

3、重复频率：单脉冲~1MHz；

4、最大输出功率： 6W；

5、最大单脉冲能量： 100 μJ @ 1030nm；

6、光束控制：高斯光、环形光、涡旋光切换；

7、位移平台： XYZ 总行程 160mm × 160mm × 50mm；

8、显微物镜： 20X， 0.4 NA，工作波长 480-1800 nm；

9、样品夹具： 100 × 100mm；

10、高损伤阈值波带片：
Damage threshold > 63 J/cm² @ 1064 nm, 10 ns pulse
Damage threshold > 2 J/cm² @ 1030 nm, 212 fs pulse;

11、采用激光微加工过程控制软件（SCA， System control application） ，模块化架构，可集成控制各种硬件

主要功能及特色

1. 系统包含了高性能飞秒激光器、高精度线性定位平台、高可靠振镜扫描系统以及加工软件，具有加工亚微米分辨率的微加工能力，可针对各种加工任务进行定制开发；
2. 可兼容多种材料，如兼容多种材料，如玻璃、蓝宝石、硅、陶瓷、金属、塑料以及光纤等；
3. 可对集成光器件、光波导、特种光纤进行设计与仿真，研究新型光子器件的特性，为后续加工提供理论指导及数据支撑；
4. 主要应用场景为：
   结构化表面和体积微纳结构化；
   飞秒激光烧蚀（FSLA）；
   激光开槽；
   多光子聚合（MPP）| 直接激光写入（DLW）；
   激光切割与钻孔和光纤微加工。